デジタル磁束ロックループ回路を用いたオンチップ二重弛張振動SQUIDの作製
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概要
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DROS(Double Relaxation Oscillation SQUID)回路とデジタル出力を得るためのデジタルFLL(Flux Locked Loop)回路をチップ上に集積した。FLL回路はDROSからのパルス出力を計数するアップダウン型の6-bitカウンタとDROSヘフィードバック出力を生成するデジタル/アナログ変換器からなる。これらの回路を2相脈流電源レギュレータを内蔵する4JL(Four Junction Logic)ゲートを基本とする論理セルを用いてレイアウト設計した。670MHzのクロック周波数における回路動作をダイナミックコンピュータシミュレーションにより検証した。最小線幅3μmのNb/AlO_x/Nbジョセフソン集積回路技術を用いて回路を試作した。オンチップDROS回路の占有面積は1.9mm×3mmである。
- 2002-11-28
著者
-
仲川 博
独立行政法人産業技術総合研究所
-
明連 広昭
埼玉大学大学院理工学研究科
-
高田 進
埼玉大学大学院理工学研究科
-
明連 広昭
埼玉大学工学部
-
高田 進
埼玉大学工学部
-
菊地 克弥
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
-
仲川 博
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
-
所 和彦
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
-
青柳 昌宏
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
-
青柳 昌宏
産業技術総合研究所・研究グループ
-
Takada S
Electrotechnical Laboratory
-
大川 智主
埼玉大学工学部
-
青柳 昌宏
東京理科大学大学院:独立行政法人産業技術総合研究所
-
青柳 昌宏
産業技術総合研究所
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