A New Fabrication Process of Superconducting Nb Tunnel Junctions with Ultralow Leakage Current for X-Ray Detection
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概要
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A new fabrication process is presented to make Nb/Al/AlO_x/Nb superconducting tunnel junctions with ultralow subgap leakage current at low temperatures below 4.2 K for X-ray detection. A Nb anodization process has been adopted to make electric insulatioun at the periphery of an ultrathin AlO_x tunnel barrier through use in combination with the conventional SiO self-aligned insulation process. The temperature dependence of the subgap current of the junctions fabricated by the present process is in good agreement with that predicted by the Bardeen-Cooper Schrieffer (BCS) theory, while junctions made by the conventional process show a weak temperature dependence of the subgap current. In addition, the Vm value of the junction fabricated by the present process was found to be more than 3000 mV at 1.2 K. It has been clarified that the anodization process introduces improvements to make the subgap leakage current extremely small in the temperature range from 4.2 K down to 1.2 K.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1993-10-15
著者
-
仲川 博
独立行政法人産業技術総合研究所
-
NAKAGAWA Hiroshi
Electrotechical Laboratory (ETL)
-
AKOH Hiroshi
Electrotechical Laboratory (ETL)
-
Esposito Emanuela
Istituto Nazionale Di Fisica Nucleare Sez. Di Napoli:istituto Di Cibernetica Del C.n.r.
-
Takada Susumu
Electrotechnical Laboratory
-
Takada S
Saitama Univ. Urawa‐shi Jpn
-
Akoh H
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology
-
Nakagawa Hiroshi
Graduate School Of Materials Science Nara Institute Of Science And Technology
-
Gianpiero Pepe
Napoli University
-
Frunzio Luigi
Istituto di Cibernetica del C.N.R
-
Cristiano Roberto
Istituto di Cibernetica del C.N.R
-
Eposit Emanuela
Istituto di Cibernetica del C.N.R
-
Pagano Sergio
Istituto di Cibernetica del C.N.R
-
Peluso Giuseppe
Napoli University
-
Barone Antonio
Napoli University
-
Pepe Gianpiero
Universita Di Napoli Federico Ii I.n.f.m-dipartimento Scienze Fisiche:istituto Nazionale Di Fisica N
-
PEPE Gianpiero
Dipartimento di Scienze Fisiche, Universita di Napoli, "Federico II"
-
PELUSO Giuseppe
Dipartimento di Scienze Fisiche, Universita di Napoli, "Federico II"
-
BARONE Antonio
Dipartimento di Scienze Fisiche, Universita di Napoli, "Federico II"
-
Frunzio Luigi
Osservatorio Astronomico Di Capodimonte
-
Pagano Sergio
Istituto Di Cibernetica Del C.n.r.
-
Peluso Giuseppe
Universita Di Napoli Federico Ii I.n.f.m-dipartimento Scienze Fisiche:istituto Nazionale Di Fisica N
-
Barone Antonio
Dipartimento Di Scienze Fisiche Universita Di Napoli "federico Ii
-
Cristiano Roberto
Istituto Di Cibernetica Del C.n.r.
-
仲川 博
独立行政法人産業総合研究所
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