感光性ポリイミド絶縁膜を用いたジョセフソン接合素子の作製
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概要
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溶媒可溶性ブロック共重合ポリイミドに感光剤を添加した感光性ポリイミドを,ジョセフソン接合素子の層間絶縁膜に用いることを提案した.感光性ポリイミドを用いることで,層間絶縁膜をスピンコーティングにより簡便に塗布でき,また絶縁膜自身が感光性を示すことから作製プロセスの簡略化ができる.我々は実際にNb/Al-AlO_x/Nbプロセスにより,感光性ポリイミド絶縁膜を用いたジョセフソン接合素子の作製を行った.作製したジョセフソン接合素子は,従来のSiO_2絶縁膜よりも段差被覆性が良く,また接合素子の特性として80mV以上のV_m値をもつことがわかった.
- 2003-01-22
著者
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仲川 博
独立行政法人産業技術総合研究所
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菊地 克弥
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
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仲川 博
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
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所 和彦
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
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青柳 昌宏
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
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青柳 昌宏
産業技術総合研究所・研究グループ
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瀬川 繁昌
(株)ピーアイ技術研究所
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瀬川 繁昌
株式会社ピーアイ技術研究所
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鄭 殷實
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
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大川 智主
埼玉大学工学部
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梅津 大祐
千葉工業大学工学部
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板谷 博
株式会社ピーアイ技術研究所
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青柳 昌宏
東京理科大学大学院:独立行政法人産業技術総合研究所
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青柳 昌宏
産業技術総合研究所
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