ポリイミド薄膜の10GHz帯誘電特性の測定(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術, テスト技術)
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概要
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実装配線の高速化、および高密度化を実現するために低誘電率材料の開発が望まれている。低誘電材料の開発を迅速におこなうために、簡便で、高精度の誘電特性測定システムが求められている。我々は、高周波帯域での誘電特性測定法の中で空洞共振器摂動法を選定し、高精度な測定ができるように検討した。誘電特性の標準材料である合成石英を用いて、誘電率の校正を行った。また、ベクトルネットワークアナライザ(VNA)について、測定条件の最適化を行った。極薄フィルム材料の測定方法について検討した。宇部興産のポリイミドフィルムUPIREXを測定した結果、10GHzにおいて誘電率3.56で標準偏差0.005、Tangentδ0.0091で標準偏差0.0001という結果を得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-09-01
著者
-
仲川 博
独立行政法人産業技術総合研究所
-
青柳 昌宏
独立行政法人産業技術総合研究所
-
所 和彦
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
-
青柳 昌宏
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
菊地 克弥
独立行政法人産業技術総合研究所
-
瀬川 繁昌
(株)ピーアイ技術研究所
-
伊藤 佐千子
(独)産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門
-
所 和彦
独立行政法人産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
-
伊藤 佐千子
独立行政法人産業技術総合研究所
-
青柳 昌弘
(独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門光・電子SI連携研究体
-
青柳 昌宏
東京理科大学大学院:独立行政法人産業技術総合研究所
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