X線検出器用Nb/AlOx/Nbトンネル接合の作製
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概要
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サブギャップ領域のリーク電流を極めて小さくできるX線検出器用のNb, AlOx/Nb超伝導トンネル接合素子(STJ)の新しい作製プロセスを提案する。Si基板を通してNb電極に電流を流す新しい陽極酸化法をデジタル回路用のSTJ作製プロセスに導入し、接合部周辺やベース電極とその測壁など電気的絶縁を必要とするすべてのNb表面に一括して絶縁酸化膜を形成できる。このプロセスで作製したSTJはサブギャップ領域のトンネル電流を4.2Kから1.2Kまでの温度で測定した結果、トンネル電流の温度依存性はBCS理論から予測される準粒子電流に良く一致した。この新しい作製プロセスでX線検出器用STJのサブギャップ領域のリーク電流を極めて小さくできることが明らかになった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-10-20
著者
-
仲川 博
独立行政法人産業技術総合研究所
-
仲川 博
電子技術総合研究所
-
青柳 昌宏
電子技術総合研究所
-
赤穂 博司
電子技術総合研究所
-
高田 進
埼玉大学大学院理工学研究科
-
黒沢 格
電子技術総合研究所
-
高田 進
電子技術総合研究所
-
黒沢 格
日本女子大学理学部数物科学科
-
Gianpiero Pepe
Napoli University
-
Frunzio Luigi
Istituto di Cibernetica del C.N.R
-
Cristiano Roberto
Istituto di Cibernetica del C.N.R
-
Eposit Emanuela
Istituto di Cibernetica del C.N.R
-
Pagano Sergio
Istituto di Cibernetica del C.N.R
-
Peluso Giuseppe
Napoli University
-
Barone Antonio
Napoli University
-
Pepe Gianpiero
Universita Di Napoli Federico Ii I.n.f.m-dipartimento Scienze Fisiche:istituto Nazionale Di Fisica N
-
Frunzio Luigi
Osservatorio Astronomico Di Capodimonte
-
Pagano Sergio
Istituto Di Cibernetica Del C.n.r.
-
Peluso Giuseppe
Universita Di Napoli Federico Ii I.n.f.m-dipartimento Scienze Fisiche:istituto Nazionale Di Fisica N
-
Barone Antonio
Dipartimento Di Scienze Fisiche Universita Di Napoli "federico Ii
-
Cristiano Roberto
Istituto Di Cibernetica Del C.n.r.
-
仲川 博
独立行政法人産業総合研究所
-
青柳 昌宏
東京理科大学大学院:独立行政法人産業技術総合研究所
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