正規分布形状STJを用いたコイル集積型超伝導X線検出器の作製
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概要
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ジョセフソン電流を微小な磁場で抑制できる正規分布関数形状超伝導トンネル接合(STJ)を用いたコイル集積型超伝導X線検出器を作製した。STJの直上に形成される2μmライン&スペースの刈超伝導コイルの信頼性と再現性を向上させるため、STJの端面における段差の緩和とパターン精度の向上を図った新しい作製プロセスを考案した。これにより、50mA以上の超伝導臨界電流をもつコイルを集積した検出器を再現性よく作製できた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-01-16
著者
-
佐藤 広海
理研
-
仲川 博
独立行政法人産業技術総合研究所
-
赤穂 博司
産総研・強相関電子技術セ
-
明連 広昭
埼玉大学大学院理工学研究科
-
田井野 徹
埼玉大学大学院理工学研究科
-
高田 進
埼玉大学大学院理工学研究科
-
明連 広昭
埼玉大学 工学部
-
高田 進
埼玉大学 工学部
-
菊地 克弥
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
-
仲川 博
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
-
青柳 昌宏
産業技術総合研究所つくば中央第二事業所
-
青柳 昌宏
産業技術総合研究所・研究グループ
-
佐藤 弘
産業技術総合研究所強相関電子技術研究センター
-
赤穂 博司
産業技術総合研究所強相関電子研究センター
-
南目 雅基
埼玉大学
-
田井 野徹
九州大学
-
飯塚 武志
埼玉大学
-
田井野 徹
埼玉大学工学部電気電子システム工学科
-
赤穂 博司
産業技術総合研究所 強相関電子研究センター
-
飯塚 武志
埼玉大学工学部
-
青柳 昌宏
東京理科大学大学院:独立行政法人産業技術総合研究所
-
青柳 昌宏
産業技術総合研究所
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