Taトラップ層を用いたSTJ素子のX線検出特性(エレクトロニクス・一般)
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概要
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超伝導トンネル接合素子(Superconducting Tunnel Junction : STJ)はフォトン検出器として優れたエネルギー分解能・高速・広帯域を特徴とする。本研究では、β-Taをトラップ層に用いた素子の作製を行った。β-Taはエネルギーギャップが小さく、Nbと同属で類似した性質を持つという特徴から、X線検出時における検出信号増大や簡便な素子加工が期待できる。β-Taの膜厚を12nmとした接合の5.9keVのX線に対する検出測定の結果、プリアンプの出力信号は750mVでエネルギー分解能は125eVであった。
- 2004-10-15
著者
-
佐藤 広海
理研
-
佐藤 広海
理化学研究所
-
清水 裕彦
理化学研究所
-
明連 広昭
埼玉大学大学院理工学研究科
-
田井野 徹
埼玉大学大学院理工学研究科
-
高田 進
埼玉大学大学院理工学研究科
-
吉村 正太
埼玉大学
-
田井野 徹
埼玉大学 工学部
-
明連 広昭
埼玉大学 工学部
-
中野 蘭
埼玉大学工学部
-
Takada S
Electrotechnical Laboratory
-
田井野 徹
埼玉大学工学部電気電子システム工学科
-
高田 進
理化学研究所
-
田井野 徹
埼玉大学
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