Arプラズマを用いたYBaCuO積層型接合の作製
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概要
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YBaCuO積層型接合の特性制御のため、下部電極にrf-Arプラズマ処理を行ったc軸配向YBaCuO/PrBaCuO/YBaCuO積層型接合を作製した。接合はRSJ的電流-電圧特性を示し、臨界電流が外部磁場に対して変調することからジョセフソン接合であることが分かった。Arプラズマ処理を施してない積層型接合の臨界電流Jc(平均670A/cm^2)に比較して、Arプラズマ処理によりJ_cが1.6×10^3A/cm^2と向上した。また、ECRプラズマ処理したバリアを持つYBaCuO積層型接合を試作した結果、かなり小さいジョセフソン効果を示す事が分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-01-17
著者
-
山本 寛
日本大学理工学部
-
佐藤 弘
電子技術総合研究所
-
赤穂 博司
電子技術総合研究所
-
佐藤 弘
産総研・強相関電子技術セ
-
赤穂 博司
産総研・強相関電子技術セ
-
山田 寿一
産総研
-
金田 孝彦
日本大学
-
山田 寿一
産業技術融合領域研究所
-
山本 寛
日本大学
-
佐藤 弘
独立行政法人産業技術総合研究所先進パワーエレクトロニクス研究センター
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