全工程MOCVD法によるジョセフソン接合の作製(マイクロ波超伝導/一般)
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概要
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MOCVD法によるNdBa_2Cu_3O7-x(NBCO)超電導層とSr_2AlTaO_6(SAT)絶縁層を含むグランドプレーン付きジョセフソン接合の作製をねらいとし,SrTiO_3(STO)基板上のNBCO/NBCO界面改質型ランプエッジ接合の作製およびSAT/YBCO積層膜上へのNBCO薄膜の作製工程の検討を行った。MOCVD法により作製したNBCOランプエッジ接合に対しては,特性のばらつきは大きいものの,Resistively-shunted-junction (RSJ)型の電流一電圧特性が観測された。また,SAT/YBCO積層膜上にPLD法により評価用のNBCO薄膜を積層し,その結晶性,表面平坦性,TcがSTO基板上のNBCOと同等であることを実証した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-04-16
著者
-
岩田 展幸
日本大学理工学部
-
山本 寛
日本大学理工学部
-
田辺 圭一
超電導工研
-
森下 忠隆
超電導工研
-
森下 忠隆
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
樽谷 良信
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
田辺 圭一
超工研
-
飴村 隆
超電導工研
-
田辺 圭一
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
田辺 圭一
国際超電導産業技術研究セ 超電導工研
-
中嶋 雄一
超電導工研
-
国分 宏
超電導工研
-
樽谷 良信
超電導工研
-
岩田 展幸
日大理エ
-
山本 寛
日大理エ
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