強磁性(FM)金属/c-,r-oriented Cr_2O_3積層膜による結晶構造解析と磁気特性(材料デバイスサマーミーティング)
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概要
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γ面およびc面サファイア基板上に、基板温度580℃以上にてCr_2O_3薄膜を成長させた。r面上では基板温度の上昇と共に、粒界に発生した溝の深さが深くなったが、結晶性は向上した。一つのグレインに注目すると、その表面はステップ-テラス構造を示した。一方、c面上では600℃以上において基板温度に依存せず、表面は非常に平坦であった。表面荒さRaはr面上Cr_2O_3薄膜の約1/10であった。逆格子マップの結果からc面配向膜は双晶を含み、r面配向膜は双晶を含まず成長していた。磁気力顕微鏡(MFM)を用いてPt/Co/Pt/r面Cr_2O_3/Al_2O_3積層膜の磁気像を測定した。電磁場冷却前後で磁気像に明らかな違いはなかった。
- 2013-06-14
著者
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