ディップコートしたFeMo及びFePtナノ粒子触媒を用いたCVD法によるカーボンナノチューブの成長(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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自由電子レーザーを成長中照射することで、カーボンナノチューブ(Carbon Nanotube: CNT)のカイラリティを制御し電子デバイスへ応用することを目指した。その第一段階として、FeMo、FePt触媒をディップコート法で作製し、熱化学気相成長(Thermal Chemical Vapor Deposition: TCVD)法にてCNTを成長させた。FeMo触媒では800℃、FePt触媒では600℃でCNT成長を行った。顕微ラマン分光測定を行った結果、CNTのD-band、G-bandを1350cm^<-1>と1590cm^<-1>付近に確認した。SEM像よりFeMo、FePt触媒ともに、細くても直径20nmφであった。また、CNTのRadial breathing mode(RBM)が確認できないことから、成長したCNTはMWNTであると考えた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-11-09
著者
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