高温超伝導ランプエッジ型ジョセフソン接合作製におけるランプ形状の最適化
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概要
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高温超伝導ランプエッジ型ジョセフソン接合を用いた集積化回路作製において必要不可欠な技術である,チップ内に特性ばらつきの少ない接合を多数作製する方法について検討した.接合特性を決定する要因のうち,ばらつきの原因となり得るものとして特にランプ形状の均一性に着目した.ランプの作製はレジストのリフロープロセスを適用したフォトリソグラフィおよびイオン照射によって行なった.イオン照射前のレジスト端部形状が作製されるランプ形状に大きく影響を与えることがわかった.また,レジスト端部形状の違いは,回路パターンの場所による違いによって引き起こされることもわかった.回路パターンに影響されず一様な斜面を形成するための手法を開発した.従来よりも薄いレジスト膜を使用し,一様な斜面を得るのに必要な最小限の時間でリフローを行なうことで,現行プロセスよりも形状の揃ったランプを作製することができた.実際にToggle-Flip-Flop用の回路パターンを用いてその有効性を実証した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-10-10
著者
-
岩田 展幸
日本大学理工学部
-
山本 寛
日本大学理工学部
-
田辺 圭一
SRL
-
田辺 圭一
超電導工学研究所
-
田辺 圭一
(財)国際超伝導産業技術研究センター 超電導工学研究所
-
安達 成司
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
若菜 裕紀
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
安達 成司
超伝導工学研究所
-
五十嵐 覚
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
樋口 清一
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
田辺 圭一
超工研
-
安達 成司
(財)国際超伝導産業技術研究センター超伝導工学研究所
-
田辺 圭一
(財)国際超電導産業技術研究センター
-
田辺 圭一
国際超電導産業技術研究セ 超電導工研
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