単結晶基板上に形成されたナノ構造フラーレン集合体(電子部品・材料,及び一般)
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概要
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近年、有機材料を電子デバイス材料として利用する試みが盛んに行われている。我々は、有機デバイス材料としてC_<60>に着目し、C_<60>ナノスケールデバイスの実現を、トップダウン法とボトムアップ法の2つのプロセスから試みた。トップダウン法ではC_<60>FETの実現を目指し、三次元成長したCaF_2エピタキシャル膜を蒸着によって作製した。その上に形成したチャネル層C_<60>薄膜は、c軸配向したhcp構造のエピタキシャル膜であった。ボトムアップ法では単分子デバイスを目指し、単結晶基板ステップに沿ったAu微粒子の一次元的な配列を作製した。その上にC_<60>を蒸着し、Auと結合したC_<60>以外のものを再蒸発させることにより、Au上にのみC_<60>モノレイヤーが存在するナノ構造を形成した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-07-30
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