ガスデポジション法による円錐バンプの作製--MEMSデバイスの低温・低荷重ストレスフリー実装を目指して

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概要

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• 2008-09-18

著者

• 仲川 博

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 菊地 克弥

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 居村 史人

  独立行政法人産業技術総合研究所

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