低抵抗4H-SiC単結晶の高品質化
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概要
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- 2010-11-29
著者
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伊藤 佐千子
(独)産業技術総合研究所 エレクトロニクス研究部門
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加藤 智久
(独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター
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西川 恒一
大阪大学大学院生
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木藤 泰男
(財)新機能素子研究開発協会
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廣瀬 富佐雄
(財)新機能素子研究開発協会
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小島 淳
株式会社デンソー
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加藤 智久
(独)産業技術総合研究所
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廣瀬 富佐雄
株式会社デンソー
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児島 一聡
(独)産業技術総合研究所
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木藤 泰男
株式会社デンソー
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山内 庄一
株式会社デンソー
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西川 恒一
株式会社豊田中央研究所
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安達 歩
トヨタ自動車株式会社
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伊藤 佐千子
(独)産業技術総合研究所
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