4 X 線トポグラフィーによる SiC 結晶成長過程のその場観察(<特集>その場観察・計測技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2001-09-05
著者
-
山口 博隆
産総研
-
山口 博隆
(独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター
-
加藤 智久
(独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター
-
吉田 貞史
産業技術総合研究所:埼玉大学工学部
-
荒井 和雄
(独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター
-
西澤 伸一
(独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター
-
西澤 伸一
産業技術総合研
-
小柳 直樹
(財)新機能素子研究開発協会
-
山口 博隆
産業技術総合研究所
-
加藤 智久
産業技術総合研究所
-
小柳 直樹
産業技術総合研究所
-
荒井 和雄
埼玉大学工学部
関連論文
- 28pPSA-35 Ca_Y_Cu_5O_のO-1s吸収端近傍のX線吸収・発光分光
- 15p-T-10 YBa_2Cu_3O_yの面内構造異常
- 28p-PS-77 YBa_2Cu_3O_薄膜の偏光EXAFSの温度変化
- 20pWG-3 酸素分圧を制御したFZ法によるSr-V系ペロブスカイト関連酸化物の単結晶育成(20pWG V系,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- PbBaSrYCu_3O_yおよびPbBaSr(Y,Ca)Cu_3O_yのX線吸収スペクトル
- 1p-YL-9 SPring-8によるh-BaTiO_3の相転移の高分解能実験
- 長鎖アルキルTFT系LB膜および結晶の研究 : 面内構造
- 28p-K-2 蛍光XAFS法による[EDT-TTF(SC_)_2]_2I_3LB膜のヨウ素分子配向状態
- 27p-PS-71 Nd系酸化物超伝導体の電子状態と酸素欠陥
- Nd_Ce_xCuO_の電子状態 : 酸素効果
- 6p-ZA-3 Nd_Ce_xCuO_の電子状態
- 15p-T-9 Tl_Pb_CuOのX線吸収分光
- 28aPS-37 高圧合成TlBa_2Ca_2Cu_3O_y(Tl-1223)のF置換効果(領域8 ポスターセッション)(領域8)
- Cu_3O_4面をもつBa_2Cu_3O_4Cl_2の単結晶の磁性
- 28aPS-19 低温STM/STS観測によるPbドープBi系酸化物高温超伝導体における不均一構造(領域8 ポスターセッション)(領域8)
- 最近の研究と技術 低角入射放射光回折顕微鏡法による4H-SiCパワーデバイス中の格子欠陥の観察
- 28pPSA-54 低温でのX線照射によるSrTiO_3の発光(28pPSA 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))
- 20pXA-7 伝導性チタン酸ストロンチウムの自発歪(誘電体(BaTiO_3系・SrTiO_3系),領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 28aYR-9 SrTi(^O_^O_x)_3の低温ラウエトポグラフィー
- 27aPS-100 超伝導性ボロンドープダイヤモンド薄膜の低温STM/STS観測(27aPS 領域8ポスターセッション(低温),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 13aRA-10 低温 STM/STS 観測による Pb ドープ Bi 系酸化物高温超伝導体における不均一構造 (2)(高温超伝導 : トンネル分光, 領域 8)
- 29aWA-9 擬一次元磁性体 Ca_Y_Cu_5O_ (0≦x≦1.5) における中性子散乱
- 22aXC-8 擬1次元銅酸化物Ca_Y_Cu_5O_10の酸素1s XAS;Y置換効果
- 24aPS-75 Ca_Y_Cu_5O_の結晶成長
- 三次元銅酸化物(La8-xSrxCu8O20) (特集:高温超電導) -- (電気的・磁気的物性評価)
- 5a-L-9 La_Sr_xCu_8O_単結晶の構造
- 正方晶La_Sr_xCuO_4の長周期構造
- 30p-L-11 La_Ba_xCuO_4単結晶のX線回折II
- 28p-PSA-12 TSFZ法によるLaBa_2Cu_3O_7単結晶育成
- 31p-A-3 蛍光EXAFS法による光合成水分解酵素系Mnクラスターの局所構造解析
- 29p-YX-7 補因子Ca^を除去した水分解酵素系Mnクラスターの異常な酸化過程 : 閃光誘起XANES分光法
- パワーエレクトロニクス用基板の開発動向と加工技術課題 (特集 グリーンエネルギー時代を支える先進加工技術とその課題)
- IWMCG-5 (5^ International Workshop on Modeling in Crystal Growth)に参加して(閑話休題)
- X線可視化・シミュレーションによる単結晶育成過程の追跡
- 昇華法によるSiCバルク単結晶成長 : 数値解析の活用(ワイドギャップ半導体とその電子デバイス応用論文小特集)
- 昇華法によるSiC単結晶成長とその場観察(バルク成長分科会特集 : 結晶成長の科学と技術)
- 隔膜真空計における熱遷移現象の数値解析
- 4 X 線トポグラフィーによる SiC 結晶成長過程のその場観察(その場観察・計測技術)
- 隔膜真空計における熱遷移現象の数値解析
- SiC単結晶成長のX線トポグラフィーその場観察装置の開発
- X線トポグラフィーによるSiC単結晶成長その場観察装置の開発
- 宇宙空間での材料作製のためのシミュレーション(宇宙のテレオペレーションとロボティックスにおけるシミュレーション)
- 3rd China-Japan Workshop on Microgravity Science
- 2次元矩形容器内の温度差・濃度差マランゴニ対流現象
- 1a-R-8 SrTiO_3のブリルアン散乱II
- 30a-W-7 Tl_2Ba_2CuO_yのCuO_2面内構造異常
- 27p-PS-66 TI_2Ba_2CuO_6の局所構造
- 11.4宇宙実験(11.宇宙工学)
- 11.4宇宙実験(11.宇宙工学)
- 11.4 宇宙実験(11.宇宙工学)
- 27pPSA-8 多層系高温超伝導体Ba_2Ca_3Cu_4O_F_の結晶構造と静電ポテンシャル(27pPSA 領域8ポスターセッション(低温I(Cu,Mn,Co,Ru,V酸化物)),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 23pWQ-6 頂点フッ素系高温超伝導体Ba_2Ca_3Cu_4O_F_のX線回折(23pWQ 高温超伝導(キャリア注入,多層系,ストライプ),領域8(強相関係:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 30pTD-3 Ba_2Ca_3Cu_4O_F_の結晶構造(30pTD 高温超伝導(置換効果,結晶化学),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 28aRE-8 シリコン熱膨張係数を利用したX線回折高温炉の温度校正(28aRE X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 28aRE-5 放射光を用いたgrazing incidenceトポグラフィーで観察される4H-SiCの転位のコントラスト(28aRE X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 24aYF-7 低角入射による表面近傍の構造に敏感な放射光トポグラフ法による4H-SiCの格子欠陥の観察(格子欠陥・ナノ構造(力学物性・転位),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- ZnOバッファー層上へのMgB2薄膜の作製 (特集:MgB2超伝導体の性質とその可能性)
- 28aXB-7 Ca_2Y_2Cu_5O_の辺共有CuO_2鎖におけるスピン波励起
- 17aPS-35 Ca_Y_Cu_5O_の辺共有CuO_2鎖における磁気励起
- 5p-ZA-3 Tl系酸化物超伝導体の局所構造と電子状態
- La_Sr_xCu_8O_ (x=1.6-2.2)の構造観察
- 電荷・格子ストライプと高温超伝導:相分離から格子変調へ
- 6p-F-4 h-BaTiO_3の相転移と低温構造
- 31p-K-11 酸素欠損ペロブスカイトLa_Sr_xCu_8O_単結晶の光学的性質
- EXAFS法によるCuInSe2薄膜の局所構造の研究 (特集:カルコパイライト半導体) -- (物性評価--局所構造)
- 5p-PS-30 FeをドープしたYBa_2Cu_3O_yの局所構造
- 5a-D3-1 La_2CuO_4単結晶の偏光XANES
- 27a-PS-40 YBaCu_3O_yおよびCaLaBaCu_3O_yの酸素欠陥と超伝導
- 28p-PS-27 CaLaBaCu_3O_yの局所構造と超伝導
- 25a-ZG-6 Si(100)上のGeAs初期成長 : (1)As成長温度依存性
- ハ-ドエレクトロニクスの目ざすもの
- 29a-YF-3 CuGeO_3のブリルアン散乱 II
- 15a-S-17 CuGeO_3の外部圧力によるアモルファス化と磁性
- La_Sr_xCuO_およびNd_Ce_xCuO_の局所構造と超伝導
- 27a-PS-38 YBa_2Cu_3O_薄膜の酸素脱離とX線吸収分光
- 29p-W-10 GeSi超格子の構造
- 29p-C-5 表面敏感XAFSからみた2次元成長 : SiGe超格子を中心として
- 4a-PS-27 表面敏感XAFSによるGe_nSi_m超格子の研究III. : 局所構造の基板温度依存性
- 4a-PS-26 表面敏感XAFSによるGe_nSi_m超格子の研究VI. : n=2の特異な電子状態
- 1a-A-4 六方晶チタン酸バリウムの構造相転移に起因した光第二高調波散乱
- 低抵抗4H-SiC単結晶の高品質化
- XAFSの標準化に関する国際ワークショップ報告
- 2p-YF-1 六方晶BaTiO_3における低周波赤外活性モードのソフト化V
- 28p-YR-10 六方晶BaTiO_3における低周波赤外活性モードのソフト化IV
- 12a-J-3 六方晶BaTiO_3における低周波赤外活性モードのソフト化II : 誘電率温度依存性
- 1a-A-3 六法晶BaTiO_3における低周波赤外活性モードのソフト化
- 4p-TB-5 InBO_3の相転移
- 2a-PS-14 La_Ba_xCuO_4単結晶のX線回折
- 30p-PSA-33 CuGeO_3のアモルファス化と圧力効果
- 30p-PSB-25 Sr_xLa_CuO_の酸素欠陥ど超伝導
- 23pPSA-1 分子線エピタキシー法によるTiB_2及びMgB_2/TiB_2の作製(23pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 平行ビームを使ったX線トポグラフィによるSiCの転位観察
- パワーMOSFETの信頼性評価を目的とした非破壊試験回路の検討
- 24aCD-7 ナノワイヤー結晶から成長したGaAs/Siヘテロエピタキシャル半導体薄膜における歪緩和機構(24aCD 格子欠陥・ナノ構造(半導体),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- ダイヤモンド薄膜を絶縁膜として用いたパワーSoC用SOI基板のシミュレーションによる検討
- 27aPS-94 分子線エピタキシー法を用いた希土類六硼化物の作製I(27aPS 領域8ポスターセッション(磁性,低温1),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- NEDOプロ「低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト」での大口径SiCウェハ加工技術開発
- 25pKA-4 Si基板上にナノワイヤー結晶から成長させたGaAs薄膜の評価(格子欠陥・ナノ構造(転位・面欠陥),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 8aPS-46 Ca_Y_Cu_5O_10系(Ca_Y_)_CuO_2の単複合結晶の対称性(遍歴磁性,化合物磁性,スピングラス・ランダム系,量子スピン系,磁気共鳴一般,実験技術開発等,領域3)
- ダイヤモンド薄膜を絶縁膜として用いたパワーSOC用SOI基板のシミュレーションによる検討