NEDOプロ「低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト」での大口径SiCウェハ加工技術開発

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概要

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著者

• 加藤 智久

  産業技術総合研究所

• 加藤 智久

  産業技術総合研究所先進パワーエレクトロニクス研究センターウェハプロセスチーム

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