加藤 智久 | 産業技術総合研究所

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概要

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関連著者

• 加藤 智久

  産業技術総合研究所

• 山口 博隆

  産総研

• 山口 博隆

  (独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター

• 加藤 智久

  (独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター

• 吉田 貞史

  産業技術総合研究所:埼玉大学工学部

• 荒井 和雄

  (独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター

• 西澤 伸一

  (独)産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター

• 西澤 伸一

  産業技術総合研

• 小柳 直樹

  (財)新機能素子研究開発協会

• 山口 博隆

  産業技術総合研究所

• 小柳 直樹

  産業技術総合研究所

• 荒井 和雄

  埼玉大学工学部

• 加藤 智久

  産業技術総合研究所先進パワーエレクトロニクス研究センターウェハプロセスチーム

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著作論文

• 4 X 線トポグラフィーによる SiC 結晶成長過程のその場観察(その場観察・計測技術)
• NEDOプロ「低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト」での大口径SiCウェハ加工技術開発

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