Coverage Properties of Nb/Al films made by Electron Cyclotron Resonance
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We perform growth of thin Al films using the electron cyclotron resonance (ECR) technique on {100} Si wafer and bcc {110} Nb thin films at room temperature. The {110} Nb thin films are also prepared by means of ECR. We carry out depositions using Xe plasma gas. We analyse the surface structure of the films using reflection high-energy electron diffraction (RHEED) and atomic force microscopy (AFM). The analyses show that Al films are polycrystalline on both Nb and Si substrates. Moreover, very thin Al films on Nb show a remarkable match with Nb surfaces that in turn, exhibit epitaxial behaviour and atomic scale flatness. This results in a good coverage of the Nb base itself.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-01-15
著者
-
赤穂 博司
産総研・強相関電子技術セ
-
TAKADA Susumu
Saitama University
-
NAKAGAWA Hiroshi
Electrotechical Laboratory (ETL)
-
AKOH Hiroshi
Electrotechical Laboratory (ETL)
-
Esposito A
Electrotechnical Laboratory
-
Esposito Antonio
電子技術総合研究所
-
Takada S
Saitama University Faculty Of Engineering
-
Takada S
Saitama Univ. Urawa‐shi Jpn
-
ESPOSITO Antonio
Electrotechnical Laboratory
-
Akoh H
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology
-
Nakagawa Hiroshi
Graduate School Of Materials Science Nara Institute Of Science And Technology
-
Nakagawa H
Univ. Tokyo Tokyo Jpn
関連論文
- 20aYH-5 電気抵抗スイッチング現象の強相関モデル((Mn系2(マルチフェロイック・薄膜・デバイス),領域8(強相関系 : 高温超伝導,強相関f電子系など))
- 18aZB-1 三色酸化物超格子回折格子における光学的電気磁気効果の観測(強相関係・低次元物質・誘電体・磁性体,領域5,光物性)
- 高速ユニポーラスイッチングRRAM技術(新メモリ技術とシステムLSI)
- 高速ユニポーラスイッチングRRAM技術(IEDM(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
- C-8-4 コイル集積型超伝導トンネル接合によるX線の検出
- マイクロストリップコイル付き超伝導トンネル接合素子を用いたX線検出
- 26pYA-9 超伝導トンネル接合を用いたX線検出器の開発(VII)
- 30p-XJ-10 超伝導トンネル接合を用いたX線検出器の開発 (IV)
- 28a-YK-6 超伝導トンネル接合を用いたX線検出器に開発(VI)
- X線検出器用磁場コイル付き超伝導トンネル接合の作製
- 26a-K-4 超伝導トンネル接合を用いたX線検出器の開発(III)
- 26a-K-3 超伝導トンネル接合を用いたX線検出器の開発(II)
- 26a-K-2 超伝導トンネル接合を用いたX線検出器の開発(I)
- 20aXA-1 RuドープLa_Sr_MnO_3の磁気異方性の変化と表面ナノドメインの形成(20aXA 領域9,領域3合同 表面磁性,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 20aXA-1 RuドープLa_Sr_MnO_3の磁気異方性の変化と表面ナノドメインの形成(20aXA 領域9,領域3合同 表面磁性,領域3(磁性,磁気共鳴))
- Mn酸化物でのトンネル磁気抵抗素子
- 23pZQ-9 (La,Sr)MnO_3/LaAlO_3/(La,Sr)CoO_3接合における負のトンネル磁気抵抗とスピン偏極トンネル分光(23pZQ Mn系2,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 13aWB-7 界面電荷変調層 (La, Sr) MnO_3/LaMnO_3 を強磁性電極としたスピントンネル接合(薄膜・人工格子磁性, 領域 3)
- 27aZP-9 ペロブスカイト型遷移金属酸化物界面の電界効果(領域7,領域8合同 : 分子デバイスI)(領域7)
- 27aZP-9 ペロブスカイト型遷移金属酸化物界面の電界効果(領域7,領域8合同 分子デバイスI)(領域8)
- 21pTP-4 SrTiO_3 への電界効果ドーピング : 低温金属相
- 21pXB-13 極性磁性体回折格子による光学的電気磁気効果の観測(領域5,領域1合同 フォトニック結晶,領域5(光物性))
- 21aPS-87 スピン偏極SEMによるLa_Sr_MnO_3薄膜の高分解能実空間スピン計測(領域8ポスターセッション(低温),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
- 27pZP-11 電極/Pr_Ca_MnO_3薄膜/電極構造におけるヒステリシス伝導特性(領域7,領域8合同 : 分子デバイスII)(領域7)
- 27pZP-11 電極/Pr_Ca_MnO_3薄膜/電極構造におけるヒステリシス伝導特性(領域7,領域8合同 分子デバイスII)(領域8)
- 28pXR-7 LaAlO_3バリアを用いた(La,Sr)MnO_3スピントンネル接合(スピン注入,トンネル接合,微小領域磁性)(領域3)
- 28aZG-2 SrTiO_3 への電界効果ドーピング : ウェットプロセス
- 28aWH-8 表面析出物のない下部電極を用いた La_Sr_xMnO_3 スピントンネル接合
- 全YBaCuO積層型接合を用いたSQUIDゲート
- 24aPS-30 スピン偏極SEMによるLa_Sr_MnO_3単結晶の実空間スピン計測(24aPS 領域8ポスターセッション(低温),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 13pWB-14 ミクロン加工磁性超構造体における磁気カイラル回折光の観測(微小領域磁性, 領域 3)
- 22aWA-6 サブミクロン加工超構造体の磁気光学
- X-Ray Detection Using Superconducting Tunnel Junction Shaped Normal-Distribution-Function(Innovative Superconducting Devices and Their Applications)
- Development of a Superconducting Analog-to-Digital Converter as a Readout for High-Resolution X-Ray Detectors Based on a Superconducting Tunnel Junction(Special Issue on Superconductive Electronics)
- Improved abrication Method for Nb/Al/AIO_x/Al/Nb Superconducting Tunnel Junctions as X-Ray Detectors
- Properties of Substrate Phonon Events in Superconducting Tunnel Junctions Induced by X-Ray Absorption
- 超伝導集積回路チップ用多チャンネル高速テスト冶具
- 21pXB-13 極性磁性体回折格子による光学的電気磁気効果の観測(領域5,領域1合同フォトニック結晶,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 高温超伝導体積層型SISジョセフソン接合と酸化物界面工学
- 正規分布形状STJを用いたコイル集積型超伝導X線検出器の作製
- Arプラズマを用いたYBaCuO積層型接合の作製
- Large-Area Tunnel Junction Exhibiting Two Operating Modes for X-ray Detection
- Response of Large Nb-Based Tunnel Junction to X-Rays
- Detection of Synchrotron Radiation by Nb-Based Superconducting Tunnel Junctions
- Fabrication of High Quality Superconducting Tunnel Junctions
- c軸配向YBaCuO積層型ジョセフソン接合の作製
- YBaCuO積層型ジョセフソン接合の研究開発 (特集 超電導特集) -- (超電導素子化技術開発)
- Properties of Large-Sized Nb-Based Superconducting Tunnel Junctions for X-Ray Detection
- Anisotropy in the Magnetic Penetration Depth of (103)YBa_2Cu_3O_ Thin Films
- Protein Dynamical Heterogeneity Derived from Neutron Incoherent Elastic Scattering (Cross-Disciplinary Physics and Related Areas of Science and Technology)
- Suppression of the Josephson Current in Normal-Distribution-Shaped Tunnel Junctions
- Fluxon Transfer Device
- Fluxon Divider
- Fluxon Feedback Oscillator
- Fluxon Observation Using a Josephson Sampler
- Improvement in Parameter Spreads of YBaCuO/PrBaCuO/YBaCuO Trilayer Junctions
- YBa_2Cu_3O_x Crossover Structures Using CeO_2 Film as Insulating Layer
- Scaling Behavior of YBaCuO/PrBaCuO/YBaCuO Trilayer Josephson Junctions
- Study of YBCO/Au Surface Using Low-Temperature Scanning Tunneling Microscopy/Scanning Tunneling Spectroscopy
- Injection-Detection Experiments to Study Diffusion Processes in Nb film using a Three Terminal in-plane Superconducting Double-Tunnel Junctions
- A New Fabrication Process of Superconducting Nb Tunnel Junctions with Ultralow Leakage Current for X-Ray Detection
- Coverage Properties of Nb/Al films made by Electron Cyclotron Resonance
- Effect of the Critical Current Density and the Junction Size on the Leakage Current of Nb/Al-AlO_x/Nb Superconducting Tunnel Junctions for Radiation Detection
- Off-Chip Superconductor Wiring in Multichip Module for Josephson LSI Circuit (Special Section on Superconducting Devices)
- A New Drive Circuit Built in a Multichip Module for Supplying a Two-Phase Power to Josephson LSI Circuits
- Superconductor Wiring in Multichip Module for Josephson LSI Circuits
- Discourse Comprehension based on Activity Propagation
- Palladium Thin-Film Resistors for Josephson LSI Circuits
- NbN/MgO/NbN Josephson Junctions for Integrated Circuits
- Nb/Al-oxide/Nb and NbN/MgO/NbN Tunnel Junctions in Large Series Arrays for Voltage Standards
- Nb/Al-oxide/Nb Tunnel Junctions for Josephson Integrated Circuits
- Liquid-Nitrogen-Cooled Dry Etching of YBaCuO Thin Films
- S-N-S Josephson Junction Consisting of Y-Ba-Cu-O / Au / Nb Thin Films : Electrical Properties of Condensed Matter
- 電子サイクロトロン共鳴スパッタリングシステムにより作成したニオブとアルミ薄膜の特性
- Fiske Steps of Josephson Tunnel Junctions Formed with Normal-Distribution Functi
- Proposal of a Digital Double Relaxation Oscillation SQUID(Special Issue on Superconductive Electronics)
- All Niobium Nitride Josephson Junction with Hydrogenated Amorphous Silicon Barrier and its Application to the Logic Circuit
- A New Josephson Timed Inverter with Four-Junction Logic (4JL) Gate
- NAND Gate for SFQ Logic Circuits(Special Issue on Superconductive Devices and Systems)
- Sub-10 ps Logic Operations in Josephson Four-Junction Logic (4JL) Gates
- A Josephson Full Adder Circuit Using Four-Junction Logic (4JL) Gates : C-2: III-V CRYSTALS/JOSEPHSON JUNCTION
- Operating Characteristics of Josephson Four-Junction Logic (4JL) Gate
- Current Injection Logic Gate with Four Josephson Junctions : C-2: JOSEPHSON DEVICES
- Fabrication of High Quality NbN/Pb Josephson Junction : C-2: JOSEPHSON DEVICES
- Flip-Chip Bonding Using Superconducting Solder Bump
- New Flip-Chip Bonding Technology for Supercondueting IC
- A Direct Coupled Josephson Sampler
- X線検出器用マイクロストリップコイル付き超伝導トンネル接合の作製
- 超伝導トンネル接合素子を用いた放射線検出器の開発
- Characteristics of Flux Noise in Long Superconducting Quantum Interference Device Array
- 7aXD-9 電界効果ドーピングによる物性制御 II(Mn系・ダブルペロブスカイト(相制御・電界効果),領域8)
- 25pWA-12 遷移金属酸化物への電界効果ドーピングの試み(25pWA その他(光電子分光,薄膜,電界効果など),領域8(強相関系分野-高温超伝導,強相関f電子系など))