SiCへのイオン注入とデバイス応用
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概要
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- 1996-11-11
著者
-
井上 尚也
京都大学電子物性工学教室
-
木本 恒暢
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
伊藤 明
京都大学電子物性工学教室
-
竹村 治
京都大学電子物性工学教室
-
木本 恒暢
京都大学電子物性工学教室
-
松波 弘之
京都大学電子物性工学教室
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