Crystallinity evaluation by microwave photoconductivity decay in double-layered polycrystalline silicon thin films crystallized by solid green laser annealing
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
著者
-
浦岡 行治
奈良先端科学技術大学院大
-
Yano H
Graduate School Of Materials Science Nara Institute Of Science And Technology
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