生体超分子を用いた高機能化ナノシステム : シリコン薄膜の低温結晶化(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般)
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概要
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自己組織化機能を持つ生体超分子は、高機能化ナノシステムを実現する上で、有用な材料である。我々は、この材料を活用して、フローティングゲートメモリ、単電子素子などを実証してきた。今回は、タンパクの二ッケルコアを用いて、シリコン薄膜の低温結晶化を検討した。その結果、粒径が大きく、不純物密度の低いシリコン薄膜の形成を確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2010-04-16
著者
-
浦岡 行治
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
山下 一郎
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
浦岡 行治
奈良先端科学技術大学院大
-
浦岡 行治
奈良先端大:crest
-
山下 一郎
奈良先端科学技術大学院大学:パナソニック
-
山下 一郎
奈良先端科学技術大学院大学
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