Effect of Chelating Agents on High Resolution Electron Beam Nanolithography of Spin-Coatable Al_2O_3 Gel Films
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-12-30
著者
-
Yamaguchi Toru
Ntt Basic Research Laboratories Ntt Corporation
-
YAMAZAKI Kenji
NTT Basic Research Laboratories
-
NAMATSU Hideo
NTT Basic Research Laboratories
-
KURIHARA Kenji
NTT Basic Research Laboratories
-
KURIHARA Kenji
NTT LSI Laboratories
-
Yamazaki K
Ntt Corp. Kanagawa Jpn
-
Kajiwara Ken
Plasma Research Center University Of Tsukuba:(present)naka Fusion Research Establishment Japan Atomi
-
Kurihara Kazuaki
Plasma Research Center University Of Tsukuba:(present) Japan Atomic Energy Research Institute
-
Yamazaki K
Ntt Basic Research Laboratories Ntt Corporation
-
SAIFULLAH Mohammad
NTT Basic Research Laboratories
-
Kurihara Kazuaki
Fujitsu Laboratories Inorganic Materials & Polymers Laboratory
-
Yamazaki Katsuyuki
The Faculty Of Engineering Tokyo Institute Of Technology : (presently) Canon Inc.
-
Namatsu H
Ntt Basic Res. Lab. Kanagawa Jpn
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