Three-Dimensional Nanofabrication with 10-nm Resolution
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We have devised three-dimensional (3D) nanofabrication technology using electron-beam (EB) lithography and a sample-rotation drive. Ten-nm resolution of patterning over a 3D sample and 3D fabrication was achieved by precise control of beam focusing for patterns divided based on the depth of focus of the EB. The focus control is carried out using an offline height-measurement system we developed, which provides focusing error of less than 2 μm. The depth of focus was accurately derived using the wave optical method. We have demonstrated these techniques and the resulting resolution by making the world's smallest globe, which shows the minimum feature size of 10 nm over the world map.
- Japan Society of Applied Physicsの論文
- 2004-08-15
著者
-
Yamaguchi Toru
Ntt Basic Research Laboratories Ntt Corporation
-
YAMAZAKI Kenji
NTT Basic Research Laboratories
-
NAMATSU Hideo
NTT Basic Research Laboratories
-
Yamazaki Kenji
NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation, 3-1 Morinosato-Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan
-
Yamaguchi Toru
NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation, 3-1 Morinosato-Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan
関連論文
- 空中音響計測における人ターゲット反射特性の評価
- コード化信号を用いた室内空間における移動物体検出(アコースティックイメージング,一般)
- HP-202-4 超音波凝固切開装置のキャビテーション発生に関する工学的検討(内視鏡手術1,ハイブリッドポスター,第109回日本外科学会定期学術集会)
- 空間フィルタを用いた膵線維症のエコー診断法 : 剖検試料による基礎検討
- スペックルの特徴とその応用
- 3-08P-27 スペックルの独立性に基づくエコー信号からの病変情報抽出(ポスターセッション 3)
- 室内環境における空中ソーナーによるターゲット検出能の評価(アコースティックイメージング,一般)
- M系列信号を用いた空中音響センシングにおける物体検出能の検討
- 沿岸域における音波伝搬特性の評価(水中音響)
- 医用超音波 超音波凝固切開装置の生体作用の基礎検討
- レイリー分布の組み合わせによる肝炎線維化の定量評価手法の検討
- 3P5-19 超音波凝固切開装置のキャビテーション作用と熱作用検証(ポスターセッション)
- 3J5-3 散乱体分布を指標とした肝線維化判定法の評価(医用超音波)
- 2P5-12 レイリー分布の組み合わせによるびまん性肝疾患の線維化評価手法の検討(ポスターセッション)
- M系列信号の同時送波による室内空間の音響映像化手法の検討
- びまん性肝疾患における線維組織構造の可視化法
- 3J7a-2 肝線維症の定量化のための散乱体密度に依存するパラメータの検討(医用超音波イメージング)
- 3P7b-9 超音波凝固切開装置の生体作用の基礎検討(ポスターセッション)
- 1P10-4 M系列信号の同時送波による室内ターゲット検出能の検討(ポスターセッション)
- 超音波凝固切開装置の振動分布と生体作用の検証(医用超音波,アコースティックイメージング)
- 散乱体分布を指標とした肝線維症のパラメトリックイメージング
- 色センサを用いた乳房検査用プローブ位置検出システムの開発
- 硬変肝剖検試料における音響特性計測の1例
- US2010-23 超音波凝固切開装置におけるブレードの振動特性と安全性の検証(医用超音波,アコースティックイメージング,一般)
- 肝組織変化シミュレーション手法により生成した超音波画像を用いた肝病変定量指標の検討
- 組織構造変化に基づく超音波肝病変画像シミュレーション手法の検討(アコースティックイメージング,一般)
- M系列信号の同時送波による室内空間の音響映像化手法の検討
- 超音波診断用ボディマークシステムの開発(医用超音波・一般)
- Single-Electron Detection in Si-Wire Transistors at Room Temperature
- Si Single-Electron Devices : Recent Attempts towards High Performance and Functionality
- A Si Memory Device Composed of a One-Dimensional Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor Switch and a Single-Electron-Transistor Detector
- Sub-10-nm Overlay Accuracy in Electron Beam Lithography for Nanometer-Scale Device Fabrication
- Suppression of Effects of Parasitic Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors on Si Single-Electron Transistors
- Suppression of Unintentional Formation of Parasitic Si Islands on a Si Single-Electron Transistor by the Use of SiN Masked Oxidation
- 超音波信号統計解析ツールによるC型肝炎線維化の定量化(続報)
- 医用画像診断システム研究部門(3.研究概要・業績)
- 超音波ビームの空間分布を考慮した肝線維構造認識処理(一般/アコースティックイメージング)
- 3P-56 種々の肝線維化画像を生成する肝組織変化シミュレーション手法(ポスターセッション)
- 3P-54 病変肝の振幅分布モデルを用いた肝病変定量評価手法の安定性の検討(ポスターセッション)
- 肝病変定量診断手法における病変肝振幅分布変化モデルの近似精度 (超音波)
- Line-Edge Roughness: Characterization and Material Origin
- Linewidth Fluctuations Caused by Polymer Aggregates in Resist Films
- Turnstile Operation Using a Silicon Dual-Gate Single-Electron Transistor
- Single-Electron Transistor and Current-Switching Device Fabricated by Vertical Pattern-Dependent Oxidation
- Fabrication of SiO_2/Si/SiO_2 Double Barrier Diodes using Two-Dimensional Si Structures
- AS-2-1 微小病変組織抽出のための超音波3次元統計フィルタの設計(AS-2.アコースティックイメージング技術の新展開,シンポジウムセッション)
- Bilayer Resist Method for Room-Temperature Nanoimprint Lithography
- Resist Thinning Effect on Nanometer-Scale Line-Edge Roughness : Instrumentation, Measurement, and Fabrication Technology
- Suppressed Aggregate Extraction Development (SAGEX) Resists
- A New Approach to Reducing Line-Edge Roughness by Using a Cross-Linked Positive-Tone Resist
- Novel Proximity Effect Including Pattern-Dependent Resist Development in Electron Beam Nanolithography
- Sub-10-nm Si Lines Fabricated Using Shifted Mask Patterns Controlled with Electron Beam Lithography and KOH Anisotropic Etching
- Fabrication of One-Dimensional Silicon Nanowire Structures with a Self-Aligned Point Contact
- 3-08P-28 散乱体密度を指標とした不均質組織のパラメトリックイメージング(ポスターセッション 3)
- Three-Dimensional Nanofabrication with 10-nm Resolution
- Effect of Chelating Agents on High Resolution Electron Beam Nanolithography of Spin-Coatable Al_2O_3 Gel Films
- Edge-Enhancement Writing for Electron Beam Nanolithography
- Carbon Multiprobes with Nanosprings Integrated on Si Cantilever Using Focused-Ion-Beam Technology
- Nanometrology of Si Nanostructures Embedded in SiO_2 using Scanning Electron Microscopy
- 1-10P-52 コード化信号を用いた室内環境におけるターゲット検出能(ポスターセッション 1)
- 肝エコー信号における独立成分の抽出
- P1-48 Analysis of scatterer structures in ultrasound images using probability density function(Poster session 1)
- 独立成分分析による肝エコー信号からの病変情報分離(医用超音波・アコースティックイメージング)
- A Method for Assembling Nano-Electromechanical Devices on Microcantilevers Using Focused Ion Beam Technology
- Nano-Four-Point Probes on Microcantilever System Fabricated by Focused Ion Beam
- Flexible Nanofabrication in Three-Dimensional Electron-Beam Lithography Enhanced by Suppression of Proximity Effect
- Three-Dimensional Resist-Coating Technique and Nanopatterning on a Cube Using Electron-Beam Lithography and Etching
- Fabrication of Nanomechanical Structures from Bulk-GaAs Using Angled Ion Etching
- Eectron-Beam Diameter Measurement Using a Knife Edge with a Visor for Scattering Eectrons
- Room Temperature Nanoimprint Technology Using Hydrogen Silsequjoxane (HSQ)
- A Spin-Polarized Scanning Electron Microscope with 5-nm Resolution : Instrumentation, Measurement, and Fabrication Technology
- Binary-Solvent Developer for Cross-Linked Positive-Tone Resists
- A Method for Assembling Nano-Electromechanical Devices on Microcantilevers Using Focused Ion Beam Technology
- Resist Coating on Vertical Side Faces Using Conventional Spin Coating for Creating Three-Dimensional Nanostructures in Semiconductors
- 肝病変定量診断手法における病変肝振幅分布変化モデルの近似精度(アコースティックイメージング,一般)
- 肝病変定量診断のための病変肝振幅分布モデルの評価(研究速報,医用超音波,アコースティックイメージング技術の新展開論文)
- Study on High-Resolution and Highly Accurate Electron-Beam Nanolithography(Abstracts of Doctoral Dissertations,Annual Report(from April 2003 to March 2004))
- 2Pa5-10 エコー減衰の周波数特性に着目した脂肪肝評価法(ポスターセッション)
- 2Pa5-15 組織構造変化モデルに基づく線維化肝臓の超音波画像評価(ポスターセッション)
- Gate Operation of InAs/AlGaSb Heterostructures with an Atomic-Layer-Deposited Insulating Layer
- Bilayer Resist Method for Room-Temperature Nanoimprint Lithography
- Nano-Four-Point Probes on Microcantilever System Fabricated by Focused Ion Beam
- Suppression of Effects of Parasitic Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors on Si Single-Electron Transistors
- Back-Gate Effect on Coulomb Blockade in Silicon-on-Insulator Trench Wires
- Turnstile Operation Using a Silicon Dual-Gate Single-Electron Transistor
- Three-Dimensional Nanofabrication with 10-nm Resolution
- Line-Edge Roughness: Characterization and Material Origin
- Low-Energy Electron Emission from an Electron Enversion Layer of a Si/SiO2/Si Cathode for Nano-Decomposition
- Modulation of Young's Modulus of Poly(methyl methacrylate) Nanobeam Due to Electron-Beam Exposure
- The Impact of Supercritical Fluoro-Compounds on Lithography Use
- Carbon Multiprobe on a Si Cantilever for Pseudo-Metal–Oxide–Semiconductor Field-Effect-Transistor
- Supercritical Improvement of Resist Patterns by Introducing Functional Molecules
- Electron-Beam Diameter Measurement Using a Knife Edge with a Visor for Scattering Electrons
- Mechanical Characteristics of Diamond-Like-Carbon Nanosprings Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition
- Novel Proximity Effect Including Pattern-Dependent Resist Development in Electron Beam Nanolithography
- Nanometrology of Si Nanostructures Embedded in SiO2 using Scanning Electron Microscopy
- Carbon Multiprobes with Nanosprings Integrated on Si Cantilever Using Focused-Ion-Beam Technology