Line-Edge Roughness: Characterization and Material Origin
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2003-06-30
著者
-
Nagase Masao
Ntt Basic Research Laboratories
-
Yamaguchi Toru
Ntt Basic Research Laboratories Ntt Corporation
-
YAMAZAKI Kenji
NTT Basic Research Laboratories
-
NAMATSU Hideo
NTT Basic Research Laboratories
-
Yamazaki K
Ntt Corp. Kanagawa Jpn
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