Linewidth Fluctuations Caused by Polymer Aggregates in Resist Films
スポンサーリンク
概要
著者
-
Nagase M
Ntt Basic Research Laboratories Ntt Corporation
-
Yamaguchi Toru
Ntt Basic Research Laboratories Ntt Corporation
-
Namatsu H
Ntt Basic Res. Lab. Kanagawa Jpn
関連論文
- 空中音響計測における人ターゲット反射特性の評価
- コード化信号を用いた室内空間における移動物体検出(アコースティックイメージング,一般)
- HP-202-4 超音波凝固切開装置のキャビテーション発生に関する工学的検討(内視鏡手術1,ハイブリッドポスター,第109回日本外科学会定期学術集会)
- 空間フィルタを用いた膵線維症のエコー診断法 : 剖検試料による基礎検討
- スペックルの特徴とその応用
- 3-08P-27 スペックルの独立性に基づくエコー信号からの病変情報抽出(ポスターセッション 3)
- 室内環境における空中ソーナーによるターゲット検出能の評価(アコースティックイメージング,一般)
- M系列信号を用いた空中音響センシングにおける物体検出能の検討
- 沿岸域における音波伝搬特性の評価(水中音響)
- 医用超音波 超音波凝固切開装置の生体作用の基礎検討
- レイリー分布の組み合わせによる肝炎線維化の定量評価手法の検討
- 3P5-19 超音波凝固切開装置のキャビテーション作用と熱作用検証(ポスターセッション)
- 3J5-3 散乱体分布を指標とした肝線維化判定法の評価(医用超音波)
- 2P5-12 レイリー分布の組み合わせによるびまん性肝疾患の線維化評価手法の検討(ポスターセッション)
- M系列信号の同時送波による室内空間の音響映像化手法の検討
- びまん性肝疾患における線維組織構造の可視化法
- 3J7a-2 肝線維症の定量化のための散乱体密度に依存するパラメータの検討(医用超音波イメージング)
- 3P7b-9 超音波凝固切開装置の生体作用の基礎検討(ポスターセッション)
- 1P10-4 M系列信号の同時送波による室内ターゲット検出能の検討(ポスターセッション)
- 超音波凝固切開装置の振動分布と生体作用の検証(医用超音波,アコースティックイメージング)
- 散乱体分布を指標とした肝線維症のパラメトリックイメージング
- 色センサを用いた乳房検査用プローブ位置検出システムの開発
- 硬変肝剖検試料における音響特性計測の1例
- Formation of Nanometer-Scale Dislocation Network Sandwiched by Silicon-on-Insulator Layers
- US2010-23 超音波凝固切開装置におけるブレードの振動特性と安全性の検証(医用超音波,アコースティックイメージング,一般)
- 肝組織変化シミュレーション手法により生成した超音波画像を用いた肝病変定量指標の検討
- 組織構造変化に基づく超音波肝病変画像シミュレーション手法の検討(アコースティックイメージング,一般)
- M系列信号の同時送波による室内空間の音響映像化手法の検討
- 超音波診断用ボディマークシステムの開発(医用超音波・一般)
- Si Single-Electron Devices : Recent Attempts towards High Performance and Functionality
- A Si Memory Device Composed of a One-Dimensional Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor Switch and a Single-Electron-Transistor Detector
- Sub-10-nm Overlay Accuracy in Electron Beam Lithography for Nanometer-Scale Device Fabrication
- Suppression of Unintentional Formation of Parasitic Si Islands on a Si Single-Electron Transistor by the Use of SiN Masked Oxidation
- Si Single-Electron Transistors on SIMOX Substrates (Special Issue on Quantum Effect Devices and Their Fabrication Technologies)
- 超音波信号統計解析ツールによるC型肝炎線維化の定量化(続報)
- 医用画像診断システム研究部門(3.研究概要・業績)
- 超音波ビームの空間分布を考慮した肝線維構造認識処理(一般/アコースティックイメージング)
- 3P-56 種々の肝線維化画像を生成する肝組織変化シミュレーション手法(ポスターセッション)
- 3P-54 病変肝の振幅分布モデルを用いた肝病変定量評価手法の安定性の検討(ポスターセッション)
- 肝病変定量診断手法における病変肝振幅分布変化モデルの近似精度 (超音波)
- Line-Edge Roughness: Characterization and Material Origin
- Linewidth Fluctuations Caused by Polymer Aggregates in Resist Films
- Mechanism of Potential Profile Formation in Silicon Single-Electron Transistors Fabricated Using Pattern-Dependent Oxidation : Semiconductors
- Single-Electron Transistor and Current-Switching Device Fabricated by Vertical Pattern-Dependent Oxidation
- Effect of Oxidation-Induced Strain on Potential Profile in Si SETs Using Pattern-Dependent Oxidation (PADOX)
- Fabrication of SiO_2/Si/SiO_2 Double Barrier Diodes using Two-Dimensional Si Structures
- Novel Fabrication Technique for a Si Single-Electron Transistor and Its High Temperature Operation
- Thermal Agglomeration of Thin Single Crystal Si on SiO_2 in Vacuum
- AS-2-1 微小病変組織抽出のための超音波3次元統計フィルタの設計(AS-2.アコースティックイメージング技術の新展開,シンポジウムセッション)
- Resist Thinning Effect on Nanometer-Scale Line-Edge Roughness : Instrumentation, Measurement, and Fabrication Technology
- Suppressed Aggregate Extraction Development (SAGEX) Resists
- A New Approach to Reducing Line-Edge Roughness by Using a Cross-Linked Positive-Tone Resist
- Novel Proximity Effect Including Pattern-Dependent Resist Development in Electron Beam Nanolithography
- Sub-10-nm Si Lines Fabricated Using Shifted Mask Patterns Controlled with Electron Beam Lithography and KOH Anisotropic Etching
- Fabrication of One-Dimensional Silicon Nanowire Structures with a Self-Aligned Point Contact
- Critical Dimension Measurement in Nanometer Scale by Using Scanning Probe Microscopy
- An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication
- Metrology of Atomic Force Microscopy for Si Nano-Structures
- 3-08P-28 散乱体密度を指標とした不均質組織のパラメトリックイメージング(ポスターセッション 3)
- Three-Dimensional Nanofabrication with 10-nm Resolution
- Effect of Chelating Agents on High Resolution Electron Beam Nanolithography of Spin-Coatable Al_2O_3 Gel Films
- Edge-Enhancement Writing for Electron Beam Nanolithography
- 1-10P-52 コード化信号を用いた室内環境におけるターゲット検出能(ポスターセッション 1)
- 肝エコー信号における独立成分の抽出
- P1-48 Analysis of scatterer structures in ultrasound images using probability density function(Poster session 1)
- 独立成分分析による肝エコー信号からの病変情報分離(医用超音波・アコースティックイメージング)
- Quantized Conductance of a Silicon Wire Fabricated by Separation-by-Implanted-Oxygen Technology
- Phase Coherence and Temperature Dependence of Current-Voltage Characteristics at Low-Current and Low-Voltage Region of Double-Barrier Resonant-Tunneling Diode
- Phase-Breaking Effect Appearing in the Current-Voltage Characteristics of Double-Barrier Resonant Tunneling Diodes - Theoretical Fitting Over Four Orders of Magnitude -
- Phase Breaking Effect Appearing in I-V Characteristics of Double-Barrier Resonant-Tunneling Diodes : Theoretical Fitting Over Four Orders of Magnitude
- Room Temperature Nanoimprint Technology Using Hydrogen Silsequjoxane (HSQ)
- Binary-Solvent Developer for Cross-Linked Positive-Tone Resists
- 肝病変定量診断手法における病変肝振幅分布変化モデルの近似精度(アコースティックイメージング,一般)
- 肝病変定量診断のための病変肝振幅分布モデルの評価(研究速報,医用超音波,アコースティックイメージング技術の新展開論文)
- 2Pa5-10 エコー減衰の周波数特性に着目した脂肪肝評価法(ポスターセッション)
- 2Pa5-15 組織構造変化モデルに基づく線維化肝臓の超音波画像評価(ポスターセッション)
- Gate Operation of InAs/AlGaSb Heterostructures with an Atomic-Layer-Deposited Insulating Layer
- Three-Dimensional Nanofabrication with 10-nm Resolution
- Line-Edge Roughness: Characterization and Material Origin
- Low-Energy Electron Emission from an Electron Enversion Layer of a Si/SiO2/Si Cathode for Nano-Decomposition
- Modulation of Young's Modulus of Poly(methyl methacrylate) Nanobeam Due to Electron-Beam Exposure
- Novel Proximity Effect Including Pattern-Dependent Resist Development in Electron Beam Nanolithography