MTSを用いたRFプラズマCVD法によるシリコンカーバイドの成膜機構 : 薄膜
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1996-07-10
著者
-
金子 聰
東理大・理
-
宮川 宣明
諏訪東理大・機械システム
-
中村 良治
宇宙研
-
宮川 宣明
東理大・理
-
飯島 誠
東理大・理
-
中村 良治
元宇宙研
-
曾根 逸人
理研:群大工
-
曽根 逸人
東理大・理
-
曽根 逸人
理研
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