飯島 誠 | 東理大・理

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概要

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関連著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 宮川 宣明

  東理大・理

• 飯島 誠

  東理大・理

• 宮川 宣明

  諏訪東理大・機械システム

• 中村 良治

  宇宙研

• 中村 良治

  元宇宙研

• 曾根 逸人

  理研:群大工

• 曽根 逸人

  東理大・理

• 曽根 逸人

  理研

著作論文

• RFプラズマCVD法によるMTSからのシリコンカーバイド膜の生成機構
• MTSを用いたRFプラズマCVD法によるシリコンカーバイドの成膜機構 : 薄膜
• MTS (CH_3SiC1_3)を用いたRFプラズマCVD法によるSiCの成膜 : 無機結晶II

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