24pZ-2 シリコンカーバイドのプラズマCVD過程における発光の空間分布と生成機構

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1999-09-03

著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 宮川 宣明

  諏訪東理大・機械システム

• 宮川 宣明

  東理大・理

• 曾根 逸人

  理研:群大工

• 山崎 弘祥

  東理大・理・応物

• 曽根 逸人

  理研

• 山崎 弘祥

  東理大・理

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