12pXG-8 RF プラズマ CVD 法における a-SiC; H 膜の光学ギャップ(結晶成長, 領域 9)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2004-08-25

著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 宮川 宣明

  諏訪東理大・機械システム

• 根本 大

  諏訪東理大・機械システム

• 根本 大

  東理大・理

• 金子 聡

  東京理科大学理学部応用物理学科

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