根本 大 | 諏訪東理大・機械システム

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概要

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関連著者

• 宮川 宣明

  諏訪東理大・機械システム

• 根本 大

  諏訪東理大・機械システム

• 金子 聰

  東理大・理

• 根本 大

  東理大・理

• 金子 聡

  東京理科大学理学部応用物理学科

• 金子 聡

  東理大・理

• 泰井 まどか

  東理大・理

• 金子 聴

  東理大・理

著作論文

• 27aXC-6 非晶質水素化並びに多結晶シリコンカーバイド膜の光学ギャップ(結晶成長・微粒子,領域9(表面・界面, 結晶成長))
• 12pXG-8 RF プラズマ CVD 法における a-SiC; H 膜の光学ギャップ(結晶成長, 領域 9)
• RFプラズマCVD法におけるa-SiC膜の水素量と成長カイネテイクス(半導体薄膜・表面)
• 21aYC-4 RF プラズマ CVD 法における a-SiC 膜の FTIR による水素定量とピークシフト

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