泰井 まどか | 東理大・理
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概要
関連著者
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泰井 まどか
東理大・理
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金子 聰
東理大・理
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宮川 宣明
諏訪東理大・機械システム
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菅 俊介
東理大・理
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金子 聡
東理大・理
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長田 英樹
東理大・理
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根本 大
諏訪東理大・機械システム
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金子 聡
東京理科大学理学部応用物理学科
著作論文
- 19pTG-4 プラズマCVDおよびCat-CVDによるSiCの低温成長機構(結晶成長,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 27aXC-6 非晶質水素化並びに多結晶シリコンカーバイド膜の光学ギャップ(結晶成長・微粒子,領域9(表面・界面, 結晶成長))
- プラズマおよび触媒CVDによるSiC薄膜の低温成長メカニズムとその特性