菅 俊介 | 東理大・理

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概要

• 同名の論文著者
• 東理大・理の論文著者

関連著者

• 菅 俊介

  東理大・理

• 金子 聰

  東理大・理

• 宮川 宣明

  諏訪東理大・機械システム

• 金子 聡

  東京理科大学理学部応用物理学科

• 泰井 まどか

  東理大・理

• 長田 英樹

  東理大・理

• 細川 雄一朗

  東理大・理

著作論文

• 19pTG-4 プラズマCVDおよびCat-CVDによるSiCの低温成長機構(結晶成長,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 02aB07 Cat-CVDによるμc-SiC膜の低温成長と成長機構(半導体エピ(4),第36回結晶成長国内会議)
• 17aB10 Plasma CVDおよびCat-CVDによるSiC薄膜の成長(半導体エピ(2),第35回結晶成長国内会議)
• プラズマおよび触媒CVDによるSiC薄膜の低温成長メカニズムとその特性

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