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細川 雄一朗 | 東理大・理
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菅 俊介
東理大・理
細川 雄一朗
東理大・理
金子 聡
東京理科大学理学部応用物理学科
著作論文
17aB10 Plasma CVDおよびCat-CVDによるSiC薄膜の成長(半導体エピ(2),第35回結晶成長国内会議)
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