21aYC-4 RF プラズマ CVD 法における a-SiC 膜の FTIR による水素定量とピークシフト

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概要

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• 2003-08-15

著者

• 宮川 宣明

  諏訪東理大・機械システム

• 根本 大

  諏訪東理大・機械システム

• 根本 大

  東理大・理

• 金子 聴

  東理大・理

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