28a-J-6 CVD炭化ケイ素膜の成長機構

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1986-09-12

著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 奥野 隆史

  東大理

• 江里口 裕康

  東理大・理

• 奥野 隆史

  東理大・理

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