28a-TG-2 Si(111)面SIMS信号の酸素量依存性(28aTG 表面・界面)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 1989-03-28

著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 奥野 隆史

  東理大・理

• 河辺 功

  東理大・理

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