熱重量天秤を用いたシリコンカーバイドの CVD 成長過程のその場観察 : 薄膜

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1996-07-10

著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 宮川 宣明

  東理大・理

• 曾根 逸人

  理研:群大工

• 曽根 逸人

  東理大・理

• 曽根 逸人

  理研

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