27a-S-5 CVD炭化ケイ素の表面反応律速機構

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1987-09-16

著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 奥野 隆史

  東大理

• 奥野 隆史

  東理大・理

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