27aC1 シリコンカーバイド熱CVD過程の温度変化(気相成長I)

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1993-07-10

著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 宮川 宣明

  東理大・理

• 那珂 通裕

  東理大・理・応物

• 那珂 通裕

  東理大・理・応物:(現)日本原子力研究所

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