単一ソース(MTS)による3C-SiCのCVD成長 : 無機結晶II

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1995-07-10

著者

• 金子 聰

  東理大・理

• 宮川 宣明

  東理大・理

• 曾根 逸人

  理研:群大工

• 曽根 逸人

  東理大・理

• 曽根 逸人

  理研

• 柿本 明修

  東理大・理・応物

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