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河辺 功 | 東理大・理
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東理大・理
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東理大・理
著作論文
炭化ケイ素CVD膜の成長と界面構造 : 気相成長
28a-TG-2 Si(111)面SIMS信号の酸素量依存性(28aTG 表面・界面)
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