28p-S-7 低速電子線衝撃により生成した窒素プラズマを用いたシリコンの低温窒化の機構
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1999-03-15
著者
-
小林 光
阪大産研:科技振・戦略基礎
-
小林 光
大阪大学産業科学研究所
-
米田 健司
松下電子工業
-
戸所 義博
松下電子企画部
-
溝黒 登志子
大阪大学産業科学研究所
-
戸所 義博
松下電子工業
-
溝黒 登志子
大阪大学産業科学研究所:大阪大学有機光工学研究センター
-
小林 光
阪大産研:科技団crest
-
溝黒 登志子
産業技術総合研究所
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