硝酸溶液を用いたSi表面上へのSiO_2酸化薄膜の低温形成と酸化膜の電気特性評価
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2008-08-10
著者
-
小林 光
阪大産研:科技振・戦略基礎
-
小林 光
大阪大学産業科学研究所
-
松本 健俊
大阪大学産業科学研究所
-
今村 健太郎
大阪大学産業科学研究所
-
小林 光
阪大産研:crest-jst
-
小林 光
大阪大学産業科学研究所:crest-jst
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