硝酸酸化極薄膜とCVD-SiO_2薄膜の積層型ゲート酸化膜を用いた超低消費電力型薄膜トランジスタの創製
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概要
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- 2011-06-10
著者
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小林 光
阪大産研:科技振・戦略基礎
-
小林 光
大阪大学産業科学研究所
-
松本 健俊
大阪大学産業科学研究所
-
小林 光
阪大産研:crest-jst
-
小林 光
大阪大学産業科学研究所:crest-jst
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