蒸気浸透による高分子光導波路の作製(ポリマー光回路・一般)
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概要
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真空を用いた簡便なプロセスである「色素蒸気輸送法」を用いて高分子光導波路を作製した.透明ポリマー,ポリメチルメタクリレート(PMMA)の棒にフッ素化合物であるフッ素化エーテルの蒸気に曝すことでPMMA表面にフッ素化合物を浸透させた.フッ素化合物がドープされたPMMA表面は屈折率が低下しクラッド層を形成した.コア層はフッ素化合物が侵入していないPMMAの中心部分である.クラッド層の屈折率、厚みは蒸気輸送の条件によって制御することができる.この方法はPMMAの形状によらず適用でき,分岐やカーブ状の導波路も作製できた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-06-16
著者
-
平賀 隆
産業技術総合研究所
-
谷垣 宣孝
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
溝黒 登志子
産業技術総合研究所 光技術研究部門
-
溝黒 登志子
大阪大学産業科学研究所:大阪大学有機光工学研究センター
-
望月 博孝
産業技術総合研究所 光技術研究部門
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谷垣 宣孝
産業技術総合研究所 光技術研究部門
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平賀 隆
産業技術総合研 光技術研究部門
-
谷垣 宣孝
産業技術総合研究所
-
溝黒 登志子
産業技術総合研究所
-
望月 博孝
産業技術総合研 電子光技術研究部門
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