一軸配向ポリシラン膜上でのオリゴシラン蒸着膜の配向成長と紫外光による前処理効果

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概要

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σ電子共役系を主鎖とする一次元半導体ケイ素系材料ポリシランおよびオリゴシランは、その特異な光・電子機能性により注目されている。また、UV光リソグラフィーによる高度な微細加工を用いた回路描画等への応用が期待されている。本研究では、摩擦転写法により作製した一軸配向ポリシラン膜を配向基板として用い、オリゴシラン薄膜の選択的な配向制御を試みた。一軸配向ポリシラン膜およびUV光で前処理したものを基板として真空蒸着法でオリゴシラン薄膜を作製し、X線回折法、斜入射X線回析法および原子間力顕微鏡により配向および形態を調べた。その結果、UV処理した基板ではオリゴシランは基板に対して斜立した垂直配向を形成し、UV非処理の一軸配向ポリシラン膜上ではオリゴシランは基板に平行配向して分子長軸がポリシラン主鎖に一軸配向している事が明らかになった。
社団法人電子情報通信学会の論文
1998-07-06

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