Q-massによる有機分子線の直接計測
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概要
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有機分子線蒸着(OMBD)の素過程の一つである蒸発・昇華現象を解明するため、四重極質量分析器を用いた有機分子線の直接計測を行った。試料として、機能性有機分子である金属フタロシアニン(M-Pc,M=Cu,Ni,Pb,TiO)、アルミキノリノール錯体(Alq3)、トリフェニルジアミン(TPD)およびフラーレン(C60)を用いた。超高真空中における各有機分子の分子線は、適切な温度範囲でその制御を行うことにより分解することなく分子線を形成し、個々の分子が蒸発していることを確認した。更に、その分子線強度の温度依存性からこれらの有機分子の昇華エンタルピーを初めて求めることができた。今回得られた結果は、OMBDによる分子制御を行う上で極めて重要かつ基礎的な指針を与えるものである。
- 1995-07-26
著者
-
八瀬 清志
物質工学工業技術研究所 高分子物理部
-
吉田 郵司
物質工学工業技術研究所 高分子物理部
-
谷垣 宣孝
物質工学工業技術研究所 高分子物理部
-
ハ瀬 清志
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
吉田 郵司
産業技術総合研究所
-
八瀬 清志
物質工学工業技術研究所
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