5p-B-2 白金の触媒作用を用いたシリコン酸化膜の低温成長法
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1997-09-16
著者
-
米田 健司
松下電子工業
-
米田 健司
松下電子ULSIプロ開セ
-
中戸 義禮
阪大基礎工及び有機光セ
-
小林 光
阪大基礎工及び有機光セ
-
湯浅 俊郎
阪大基礎工及び有機光セ
-
山中 一弘
阪大基礎工及び有機光セ
-
小林 光
阪大産研:科技団crest
-
湯浅 俊郎
阪大産研:科技団crest
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