1p-YE-15 白金の触媒作用を用いたシリコンの低温酸化機構 : バイアス電圧依存性
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1998-03-10
著者
-
米田 健司
松下電子工業
-
米田 健司
松下電子ULSIプロ開セ
-
戸所 義博
松下電子企画部
-
戸所 義博
松下電子工業
-
中戸 義禮
阪大基礎工及び有機光セ
-
小林 光
阪大基礎工及び有機光セ
-
湯浅 俊郎
阪大基礎工及び有機光セ
-
山中 一弘
阪大基礎工及び有機光セ
-
戸所 義博
松下電産研本
-
小林 光
阪大産研:科技団crest
-
湯浅 俊郎
阪大産研:科技団crest
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